![[光學(xué)原理與應(yīng)用-499]：市面上有哪些指向穩(wěn)定性的產(chǎn)品？主要的產(chǎn)品規(guī)格和性能指標(biāo)](http://pic.xiahunao.cn/yaotu/[光學(xué)原理與應(yīng)用-499]：市面上有哪些指向穩(wěn)定性的產(chǎn)品？主要的產(chǎn)品規(guī)格和性能指標(biāo))
市面光束指向穩(wěn)定性產(chǎn)品匯總及核心性能規(guī)格分為進(jìn)口成熟商用整機(jī)系統(tǒng)、國(guó)內(nèi)整機(jī)方案、核心零部件壓電快反鏡用于自研搭建系統(tǒng)三類指標(biāo)區(qū)分角度鎖定精度、閉環(huán)帶寬、修正范圍、工作波長(zhǎng)、探測(cè)器類型同時(shí)標(biāo)注深紫外266nm適配情況。一、進(jìn)口商用整機(jī)完整閉環(huán)系統(tǒng)開(kāi)箱可用1. MRC Systems德國(guó)Compact 系列 光束穩(wěn)定系統(tǒng)核心原理模擬閉環(huán)無(wú)數(shù)字化采樣延遲QPD 四象限探測(cè)器無(wú)需上位機(jī)也可運(yùn)行支持 OEM 集成關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向鎖定精度RMS0.1 μrad位置精度0.1 μm 100nm閉環(huán)帶寬DC~ 數(shù)千 Hz模擬硬件閉環(huán)1kHz1ms修正角度范圍±2 mrad可擴(kuò)展最大到2毫弧度粒度0.1微弧度波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn) 320?1100 nm可定制紫外 190 nm適配 266nm 深紫外需更換紫外探測(cè)器與石英光學(xué)件激光器適配連續(xù)、單脈沖、fs/ps/ns 脈沖激光重復(fù)頻率無(wú)上限特點(diǎn)可復(fù)用反射鏡透射光做采樣不一定需要額外分光片雙級(jí)鏡架可同時(shí)校正位置 角度2. TEM Messtechnik德國(guó)Aligna 系列原理PSD 位置傳感器 壓電快反鏡全數(shù)字化模塊化可控制 1?4 路光束關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向精度1 μrad最高可至 10 nrad 量級(jí)伺服閉環(huán)帶寬最高5 kHz最大修正角度18° 大動(dòng)態(tài)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn) 380?1100 nm可定制 180 nm?10 μm支持 266nm 紫外定制接口USB/LAN計(jì)算機(jī)軟件控制適合強(qiáng)激光、深空光通信、超快激光實(shí)驗(yàn)3. Radiant Light BeamLine Compact原理CMOS 圖像探測(cè)數(shù)字閉環(huán)觀察光斑形貌適合光斑畸變需要監(jiān)控的場(chǎng)景關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向精度20 μrad捕獲視場(chǎng)±2°波長(zhǎng)350?1100 nm無(wú)原生深紫外版本光損耗3%二、國(guó)內(nèi)整機(jī)系統(tǒng)方案1. 皓宇芯光 光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)相機(jī)式閉環(huán)原理CMOS 圖像探測(cè)器數(shù)字 PID 閉環(huán)可以實(shí)時(shí)查看光斑圖像適合科研項(xiàng)目自研配套表格參數(shù)規(guī)格鎖定精度≤1 μrad(RMSE)修正范圍±0.4 mrad單壓電鏡最小步進(jìn)≤0.1 μrad閉環(huán)響應(yīng)帶寬10 Hz低頻適合補(bǔ)償小時(shí)級(jí)熱漂移不適合高頻脈沖?to?pulse 抖動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)400?1000 nm266nm 需要定制石英窗口、紫外 CMOS特點(diǎn)相機(jī)方案可以識(shí)別光斑畸形、雜散光帶寬偏低適合長(zhǎng)期穩(wěn)定性不適合高頻振動(dòng)抑制2. 波量科技 BDS?HP?STB?PM 光束傳輸穩(wěn)定系統(tǒng)面向高功率超快光纖激光加工設(shè)備集成整機(jī)表格參數(shù)規(guī)格殘余指向波動(dòng)200 μrad適用波長(zhǎng)1030/1064nm傳輸效率85%定位設(shè)備內(nèi)置配套模塊不是實(shí)驗(yàn)室通用光學(xué)平臺(tái)儀器國(guó)內(nèi)現(xiàn)狀通用型 266nm 深紫外完整商用穩(wěn)束整機(jī)很少大多是項(xiàng)目定制開(kāi)發(fā)也就是你前面設(shè)計(jì)的 “雙光斑 雙 CMOS 二維壓電快反鏡” 架構(gòu)。三、核心零部件自研搭建穩(wěn)束系統(tǒng)采購(gòu)清單壓電快反鏡完整指向穩(wěn)定系統(tǒng) 「探測(cè)器CMOS/QPD 二維壓電快反鏡 控制器 分光采樣光路 控制算法」。很多單位不買(mǎi)整機(jī)自行搭建下面是主流壓電快反鏡FSM參數(shù)表格廠商型號(hào)閉環(huán)角度分辨率機(jī)械偏轉(zhuǎn)范圍諧振頻率備注PI S340德國(guó)0.01 μrad±2 mrad2kHz高端科研標(biāo)配帶寬高芯明天 P33 系列國(guó)產(chǎn)0.1 μrad±1?3 mrad800?2000Hz國(guó)內(nèi)通用性價(jià)比高三英精控 NSRB 系列0.1 μrad±2.5 mrad1200Hz工業(yè)激光應(yīng)用四、不同產(chǎn)品路線對(duì)比總結(jié)表格路線代表產(chǎn)品探測(cè)器類型帶寬優(yōu)點(diǎn)短板適配 266nm 深紫外模擬硬件閉環(huán)MRC CompactQPD幾千 Hz延遲極低無(wú)需電腦高頻抖動(dòng)抑制強(qiáng)看不到光斑形貌不能識(shí)別光斑畸變?可定制紫外版本數(shù)字化 PSD 閉環(huán)TEM AlignaPSD最高 5kHz精度極高模塊化多光束無(wú)法獲取光斑圖像?可定制CMOS 圖像數(shù)字閉環(huán)皓宇芯光、BeamLineCMOS10?幾百 Hz可看光斑輪廓識(shí)別雜散光 / 畸形光斑帶寬受幀率限制高頻抖動(dòng)能力弱??需要定制石英窗口、紫外增強(qiáng) CMOS五、選型關(guān)鍵注意點(diǎn)結(jié)合深紫外 266nm 項(xiàng)目帶寬區(qū)分抑制脈沖間高頻抖動(dòng)短期穩(wěn)定性優(yōu)先 MRC / TEM帶寬 kHz 級(jí)別只補(bǔ)償小時(shí)級(jí)熱漂移長(zhǎng)期穩(wěn)定性國(guó)產(chǎn) CMOS 方案即可幾十 Hz 足夠。深紫外 266nm 坑點(diǎn)市售標(biāo)準(zhǔn)整機(jī)大多為可見(jiàn)光 / 近紅外要支持 266nm 必須確認(rèn)石英光學(xué)、紫外探測(cè)器、無(wú)膠窗口、衰減組件標(biāo)準(zhǔn)玻璃窗口會(huì)快速老化發(fā)黑。動(dòng)態(tài)范圍與靈敏度矛盾商用整機(jī)同樣存在高靈敏度則捕獲視場(chǎng)小大捕獲范圍則靈敏度下降高端型號(hào)部分支持大小雙探測(cè)通道和你設(shè)計(jì)的一大一小雙光斑架構(gòu)思路一致。精度指標(biāo)解讀??產(chǎn)品手冊(cè)寫(xiě)的 μrad 精度大多是閉環(huán)殘余誤差RMS不是絕對(duì)角度測(cè)量精度同時(shí)區(qū)分「短期ms/s」和「長(zhǎng)期漂移小時(shí)」很多產(chǎn)品只標(biāo)注短期指標(biāo)。 [光學(xué)原理與應(yīng)用-499]：市面上有哪些指向穩(wěn)定性的產(chǎn)品？主要的產(chǎn)品規(guī)格和性能指標(biāo)
市面光束指向穩(wěn)定性產(chǎn)品匯總及核心性能規(guī)格分為進(jìn)口成熟商用整機(jī)系統(tǒng)、國(guó)內(nèi)整機(jī)方案、核心零部件壓電快反鏡用于自研搭建系統(tǒng)三類指標(biāo)區(qū)分角度鎖定精度、閉環(huán)帶寬、修正范圍、工作波長(zhǎng)、探測(cè)器類型同時(shí)標(biāo)注深紫外266nm適配情況。一、進(jìn)口商用整機(jī)完整閉環(huán)系統(tǒng)開(kāi)箱可用1. MRC Systems德國(guó)Compact 系列 光束穩(wěn)定系統(tǒng)核心原理模擬閉環(huán)無(wú)數(shù)字化采樣延遲QPD 四象限探測(cè)器無(wú)需上位機(jī)也可運(yùn)行支持 OEM 集成關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向鎖定精度RMS0.1 μrad位置精度0.1 μm 100nm閉環(huán)帶寬DC~ 數(shù)千 Hz模擬硬件閉環(huán)1kHz1ms修正角度范圍±2 mrad可擴(kuò)展最大到2毫弧度粒度0.1微弧度波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn) 320?1100 nm可定制紫外 190 nm適配 266nm 深紫外需更換紫外探測(cè)器與石英光學(xué)件激光器適配連續(xù)、單脈沖、fs/ps/ns 脈沖激光重復(fù)頻率無(wú)上限特點(diǎn)可復(fù)用反射鏡透射光做采樣不一定需要額外分光片雙級(jí)鏡架可同時(shí)校正位置 角度2. TEM Messtechnik德國(guó)Aligna 系列原理PSD 位置傳感器 壓電快反鏡全數(shù)字化模塊化可控制 1?4 路光束關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向精度1 μrad最高可至 10 nrad 量級(jí)伺服閉環(huán)帶寬最高5 kHz最大修正角度18° 大動(dòng)態(tài)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn) 380?1100 nm可定制 180 nm?10 μm支持 266nm 紫外定制接口USB/LAN計(jì)算機(jī)軟件控制適合強(qiáng)激光、深空光通信、超快激光實(shí)驗(yàn)3. Radiant Light BeamLine Compact原理CMOS 圖像探測(cè)數(shù)字閉環(huán)觀察光斑形貌適合光斑畸變需要監(jiān)控的場(chǎng)景關(guān)鍵性能指標(biāo)表格參數(shù)規(guī)格指向精度20 μrad捕獲視場(chǎng)±2°波長(zhǎng)350?1100 nm無(wú)原生深紫外版本光損耗3%二、國(guó)內(nèi)整機(jī)系統(tǒng)方案1. 皓宇芯光 光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)相機(jī)式閉環(huán)原理CMOS 圖像探測(cè)器數(shù)字 PID 閉環(huán)可以實(shí)時(shí)查看光斑圖像適合科研項(xiàng)目自研配套表格參數(shù)規(guī)格鎖定精度≤1 μrad(RMSE)修正范圍±0.4 mrad單壓電鏡最小步進(jìn)≤0.1 μrad閉環(huán)響應(yīng)帶寬10 Hz低頻適合補(bǔ)償小時(shí)級(jí)熱漂移不適合高頻脈沖?to?pulse 抖動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)400?1000 nm266nm 需要定制石英窗口、紫外 CMOS特點(diǎn)相機(jī)方案可以識(shí)別光斑畸形、雜散光帶寬偏低適合長(zhǎng)期穩(wěn)定性不適合高頻振動(dòng)抑制2. 波量科技 BDS?HP?STB?PM 光束傳輸穩(wěn)定系統(tǒng)面向高功率超快光纖激光加工設(shè)備集成整機(jī)表格參數(shù)規(guī)格殘余指向波動(dòng)200 μrad適用波長(zhǎng)1030/1064nm傳輸效率85%定位設(shè)備內(nèi)置配套模塊不是實(shí)驗(yàn)室通用光學(xué)平臺(tái)儀器國(guó)內(nèi)現(xiàn)狀通用型 266nm 深紫外完整商用穩(wěn)束整機(jī)很少大多是項(xiàng)目定制開(kāi)發(fā)也就是你前面設(shè)計(jì)的 “雙光斑 雙 CMOS 二維壓電快反鏡” 架構(gòu)。三、核心零部件自研搭建穩(wěn)束系統(tǒng)采購(gòu)清單壓電快反鏡完整指向穩(wěn)定系統(tǒng) 「探測(cè)器CMOS/QPD 二維壓電快反鏡 控制器 分光采樣光路 控制算法」。很多單位不買(mǎi)整機(jī)自行搭建下面是主流壓電快反鏡FSM參數(shù)表格廠商型號(hào)閉環(huán)角度分辨率機(jī)械偏轉(zhuǎn)范圍諧振頻率備注PI S340德國(guó)0.01 μrad±2 mrad2kHz高端科研標(biāo)配帶寬高芯明天 P33 系列國(guó)產(chǎn)0.1 μrad±1?3 mrad800?2000Hz國(guó)內(nèi)通用性價(jià)比高三英精控 NSRB 系列0.1 μrad±2.5 mrad1200Hz工業(yè)激光應(yīng)用四、不同產(chǎn)品路線對(duì)比總結(jié)表格路線代表產(chǎn)品探測(cè)器類型帶寬優(yōu)點(diǎn)短板適配 266nm 深紫外模擬硬件閉環(huán)MRC CompactQPD幾千 Hz延遲極低無(wú)需電腦高頻抖動(dòng)抑制強(qiáng)看不到光斑形貌不能識(shí)別光斑畸變?可定制紫外版本數(shù)字化 PSD 閉環(huán)TEM AlignaPSD最高 5kHz精度極高模塊化多光束無(wú)法獲取光斑圖像?可定制CMOS 圖像數(shù)字閉環(huán)皓宇芯光、BeamLineCMOS10?幾百 Hz可看光斑輪廓識(shí)別雜散光 / 畸形光斑帶寬受幀率限制高頻抖動(dòng)能力弱??需要定制石英窗口、紫外增強(qiáng) CMOS五、選型關(guān)鍵注意點(diǎn)結(jié)合深紫外 266nm 項(xiàng)目帶寬區(qū)分抑制脈沖間高頻抖動(dòng)短期穩(wěn)定性優(yōu)先 MRC / TEM帶寬 kHz 級(jí)別只補(bǔ)償小時(shí)級(jí)熱漂移長(zhǎng)期穩(wěn)定性國(guó)產(chǎn) CMOS 方案即可幾十 Hz 足夠。深紫外 266nm 坑點(diǎn)市售標(biāo)準(zhǔn)整機(jī)大多為可見(jiàn)光 / 近紅外要支持 266nm 必須確認(rèn)石英光學(xué)、紫外探測(cè)器、無(wú)膠窗口、衰減組件標(biāo)準(zhǔn)玻璃窗口會(huì)快速老化發(fā)黑。動(dòng)態(tài)范圍與靈敏度矛盾商用整機(jī)同樣存在高靈敏度則捕獲視場(chǎng)小大捕獲范圍則靈敏度下降高端型號(hào)部分支持大小雙探測(cè)通道和你設(shè)計(jì)的一大一小雙光斑架構(gòu)思路一致。精度指標(biāo)解讀??產(chǎn)品手冊(cè)寫(xiě)的 μrad 精度大多是閉環(huán)殘余誤差RMS不是絕對(duì)角度測(cè)量精度同時(shí)區(qū)分「短期ms/s」和「長(zhǎng)期漂移小時(shí)」很多產(chǎn)品只標(biāo)注短期指標(biāo)。